| 产品特性：器 | 是否进口：否 | 产地：德国 |
| 品牌：PI | 型号：P-363 | 测量精度：皮米精度 |
| 加工定制：否 | 类型：移动平台器 | 扫描范围：1 ?m × 1 ?m × 0.6 ?m |
| 扫描方式：压电扫描器 | 有效像素：20 皮米分辨率 | 规格：1 |
pi-P-363 PCube XY(Z) 压电扫描仪：
用于扫描探针显微镜的动态纳米器
用于 AFM / SPM 的性能闭环扫描仪
用于生物/纳米技术的紧凑型操作工具
共振频率 9.8 kHz 用于特别快速的扫描
自动补偿导向误差的平行测量技术
分辨率 50 皮米
行程 5 ?m × 5 ?m × 5 ?m
pi-P-363 PCube XY(Z) 压电扫描仪
应用领域
扫描探针显微镜
原子力显微镜
扫描筛选
零间隙挠性导轨实现高导向精度
挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。
由于平行位置测量，在纳米范围内具有高跟踪精度
所有的自由度都是根据一个单一的固定参考来测量的。轴之间不需要的串扰可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度。
具有电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
pi-P-363 PCube XY(Z) 压电扫描仪
